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11、化學品供應

11化學品供應11.1一般規定11.1.1潔凈廠房內化學品的儲存、輸送方式，應根據產品生產工藝和化學品的品質、......

12、電氣設計

12電氣設計12.1配電12.1.1潔凈廠房的用電負荷等級和供電要求，應根據電子產品生產工藝及設備要求和現行國......

13、防靜電與接地設計

13防靜電與接地設計13.1一般規定13.1.1潔凈廠房應根據生產工藝要求設置防靜電環境。防靜電環境設計應滿足......

14、噪聲控制

14噪聲控制14.1一般規定14.1.1潔凈廠房的噪聲控制，應滿足電子產品生產的要求，并應保持工作人員具有舒適......

15、微振控制

15微振控制15.1一般規定15.1.1潔凈廠房的微振控制設施的設計應分階段進行，應包括設計、施工和投產等各階......

附錄A 各類電子產品生產對空氣潔凈度等級的要求

附錄A各類電子產品生產對空氣潔凈度等級的要求...

附錄B 電子產品生產間／工序的火災危險性分類舉例

附錄B電子產品生產間/工序的火災危險性分類舉例注：①表中房間在設備密閉性良好，并設有氣體或可燃蒸氣報警裝置和滅......

附錄C 精密儀器、設備的容許振動值舉例

附錄C精密儀器、設備的容許振動值舉例：...

附錄D 潔凈室(區)性能測試和認證

D.1.1潔凈室(區)應定期進行性能測試。以認證潔凈室(區)始終符合本規范的要求。D.1.2潔凈室(區)性能測......

本規范用詞說明

1為便于在執行本規范條文時區別對待，對要求嚴格程度不同的用詞說明如下：1)表示很嚴格，非這樣做不可的用詞正面詞......